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無機氧化硅可控制備研究中心
編號:
名稱: 無機氧化硅可控制備研究中心
領域: 材料科學
成果形式:
投資額:
案例數:
技術階段: 概念階段
合作方式:

方案詳述

無機氧化硅可控制備研究中心

以氧化硅、氧化鈰為代表的納米氧化物顆粒由于其優良的結構、光電、化學等性能,在半導體、生物醫藥、石油化工、光催化等領域都具有廣泛的應用前景。目前國際上高端納米氧化物材料的市場主要被美、德、日等國家壟斷。甬江實驗室無機氧化硅可控制備研究中心圍繞電子材料和生物醫藥材料領域,開展微納尺度氧化硅材料可控制備技術的基礎理論研究、流程設計、關鍵設備制造,致力于在電子封裝材料、5G填充材料、藥物純化、緩釋等領域實現應用。

目前,中心聚焦用于芯片化學機械拋光的氧化硅磨料研發,重點研究納米氧化硅顆粒結構對拋光效果的影響,解決納米氧化硅結構調控及規模化制備的技術瓶頸。中心的研究將突破日本Fuso在該材料95%市占率的壟斷,中心所開發的樣品已送至國內多家半導體廠商展開驗證并獲得一致認可。今年中心將完成納米氧化硅顆粒的中試放大工藝研究,并計劃與萬華、江豐等產業頭部企業在寧波合作成立產業化公司,實現應用落地。

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